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ビーム分割素子

はじめに

ビーム分割素子は、入射レーザビームを元のビームの特性を変更することなく(スポットサイズと伝播方向を除く)、任意の数のサブビームに分割することができます。
写真に示すように、32×32の2次元でビーム分割を行うこともできます。
光スポットの1次元ラインアレイによって、光スポット間の長さや角度は、お客様のニーズに合わせて設計することができます。

製品について

発散角をお客様のニーズに合わせて調整することができますが、正確な分割を得るためには、コリメートされた入射ビームが必要とされます。遠視野での発散角誤差は、0.03ミリラジアン以内に制御することができます。通常、お客様が自分の集光レンズを使用している場合、当社が決定するための設計と各ビーム間の距離を提供することができます。ビーム分割素子の後に、単純な集光ミラーを配置することができます。

素子の特性

二重ビーム分割素子の効率は、80%を達成することができます。ビーム分離素子のマルチビーム(少なくとも3)では、バイナリマルチステップエッチングを使った分析で、効率は85%〜95%です。n次は、より良好な分割効果を得るために、お客様は最初のスポットサイズを提供する必要があり、スポットサイズは、エッチングの少なくとも3〜5倍、最良の結果の5倍以上を必要とします。

カスタム化

お客様特注のビーム分割素子をご提供するためには、以下のパラメータをご提供していただく必要があります。
  1. レーザの波長
  2. スポットサイズ
  3. 集光ミラーの焦点距離(必要な場合)
  4. 各ビームの発散角

ビームスプリッター
型名 波長 スポット数 イメージレンズ サイズ
HL-7x 7DEG 10.6um 7x7 2fシステム
f=50mmの他の集光レンズを追加する
13x13mm2
T=1
HL-8x 8DEG 2940nm 8x8 13x13mm2,20x20mm2
T=1
HL-8x 8DEG 1064nm 8x8
HL-9x 9DEG 532nm 9x9

ラインビーム
型名 波長 ライン長 ライン幅 イメージ長 サイズ
HL-L100x W0.2 355nm〜1080nm 〜200nm 10um〜200mm f=50mm〜f=500mm 13x13mm2,20x20mm2
T=1