Wavelength社が新たに開発した赤外エリプソメトリー・システムは、CO2 RFレーザの中で反射したレーザ・ビームから振幅と位相を測定する装置です。偏光の振幅と位相は、一連のコーティング試験を通じたコーティング特性に相関しています。ユーザー・インターフェイスのソフトウェアは偏光に関する情報、アーカイブ・ログを抽出し、コーティング特性のデータベースを提供するために構築されました。
ワークステーション | ||
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レーザ | 出力 | 10W |
波長 | 10.6μm | |
出力安定性 | <3% | |
冷却 | 水冷 | |
アライメント光 | 可視光 | |
位相測定 | 分解能 | <3度 |
サンプル | 0度および90度位相回転ミラー | |
測定SOP | 加熱時間、測定サイクル、OFFまたはオプションではない | |
電気系統 | 電源 | 240V (13Aフューズ) |
動作条件 | 振動制御 | 最低VC-B(3μm) |
湿度 | <50% | |
温度 | 24±1度 | |
物理的仕様 | エンクロージャー | 光学ボードが好ましい、オープン構造 |
専有面積 | 2m(L)×1m(W)×0.5m(H) | |
重量 | <50Kg | |
コンピューター | ||
モニター | >17インチLCD | |
RAM | 4GB | |
ハードディスク | >100GB | |
PCIスロット | 最低2 | |
ソフトウェア | ||
OS | Windows XPまたはWindows 7 | |
GUI | 位相を度で表示 | |
位相ダイヤグラムでデータを表示 | ||
ON/OFFのコントロールボタンでデータ集積およびミラーの回転、 または変調ドライバー |
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データ・セーブ・ボタンでファイル名に入力およびフォーマット | ||
データ集積 | 出力のデータ集積の機能で | |
集積速度は回転速度に依存 | ||
データ処理 | 位相計算処理 | |
テキスト・フォーマットでセーブ・データ | ||
据付ファイル | CD-ROM |