コリメートされたガウスビームをコリメートされた出力ビームに変換する焦点ビームシェイパー・シリーズの開発に成功しました。 ターゲット面でフラットトップ形状が得られるように設計されているので、この出力ビームはフラットトップ形状ではありません(下図参照)。
このビームシェイパーは、ターゲット面の近傍でフラットトップ形状の集束スポットを取得するために、焦点レンズまたは回折限界性能のレンズを組み込んで使用しなければなりません。
フラットトップは、サブミクロンレベルで均一性に優れたスポットサイズを達成することができます。
レンズの焦点を合わせることで、特定のアプリケーションに適した焦点距離にすることができます。
パート番号 | 波長 | 入力ビーム ウエスト径 (1/e2)(mm) |
出力 ビーム径 (mm) |
入力ビーム 拡がり角 (全角:mrad) |
出力ビーム 拡がり角 (全角:mrad) |
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BSFL-355-6 | 355nm | 6.0 | 6.0 | 〜0.1 | 〜1.0 |
BSFL-532-10 | 532nm | 10.0 | 10.0 | 〜0.1 | 〜1.1 |
BSFL-1064-10 | 1064nm | 10.0 | 10.0 | 〜0.2 | 〜1.6 |
BSFL-10.6-20 | 10.6um | 20.0 | 20.0 | 〜0.04 | 〜4.7 |
注:均一性は、焦点対象面の位置、ビームシェイパー上の調整およびフォーカスレンズの品質に依存して変化します。