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システムSystem

取扱製品

透過型3Dデジタル・ホロスコープ

三次元リアルタイム・浸食イメージングおよび評価(TruImagE)システム
マイクロ・オプティクス計測用デジタル・ホロスコープ

応用

線形マイクロ・オプティクスの量的3Dイメージング
単レンズの特性化
マイクロ・レンズアレイの均一性検査
ナノメートル分解能で表面のプロファイリング
表面の粗さ測定
波面解析と復元
光学性能分析
プロセス監視

特徴

コンパクト
非接触
低コスト
複雑な整列&調節が不要
環境振動および位相曲率の物理的補正
研究室または工場に最適

仕様

顕微鏡対物レンズ 10× 20× 40× 60×
横方向分解能 (μm ) 4.4 2.2 1.6 1.1
縦方向分解能(nm) 10 10 10 10
視野 (μm×μm) 790×620 370×270 190×130 130×90

マイクロ・レンズアレイ用BS EN ISO14880-1 〜 14880-4 規格