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干渉計レンズ

※Smarc シリーズ(O25)干渉計レンズは、Fujinon レンズに使用可

Smarc 標準レンズ

F R0(mm) 測定可能曲率半径 最大測定可能口径
凹 凸 凹 凸
0.7 9.36 105 6 150 15
1.0 17.37 100 14 100 18
1.5 30.01 83 27 53 19
2.0 37.95 75 34.8 37.5 19
3.0 59.29 50 56 17 23
5.0 102.33 8 99 2 24

レンズのマッチングはfに依存： f=R/D, R:曲率半径，D;口径. もし F＜fならば全口径は測定可能; もし F＞fならば， 口径は全口径のf/F。

注: 凸側を測定する場合、曲率半径はR0より大きくなれず、測定もできない。口径は、凸側の最大測定可能口径以上にはできない。


D60標準レンズ

  • 標準平レンズ
  • 標準非球面レンズF/0.75
  • 標準非球面レンズ F/1.0
  • 標準非球面レンズ F/2.0
  • 標準非球面レンズ F/2.8
  • 標準非球面レンズ F/5.0

※Smarc シリーズ(O25)干渉計レンズは、Fujinon レンズに使用可

垂直 60 標準レンズ

F R(mm) 測定可能曲率半径 最大測定可能口径
凹 凸 凹 凸
0.7 23 0~277 0~22 0~397 0~37
1.0 43 0~257 0~42 0~257 0~46
2.0 105 0~195 0~104 0~97 0~58
2.8 150 0~150 0~149 0~50 0~60
5.0 278 0~22 0~277 0~4 0~60

水平 60 標準レンズ

F R(mm) 測定可能曲率半径 最大測定可能口径
凹 凸 凹 凸
0.7 23 0~ 0~22 0~650 0~37
1.0 43 0~ 0~42 0~450 0~46
2.0 105 0~ 0~104 0~195 0~58
2.8 150 0~ 0~149 0~100 0~60
5.0 278 0~ 0~277 - 0~60

D100 標準レンズ

  • 標準平レンズ
  • 標準非球面レンズF0.75
  • 標準非球面レンズ F/1.5
  • 標準非球面レンズ F/3.3
  • 標準非球面レンズ F/5.0
  • 標準非球面レンズ F/7.0
  • 標準非球面レンズ F/11.0

※D100 口径干渉計レンズはZYGOに使用可

Marc-100 (垂直) 標準レンズ

F R(mm) 測定可能曲率半径 最大測定可能口径
凹 凸 凹 凸
0.75 47.14 0~453 0~45 0~603 0~60
1.5 120 0~3800 0~118 0~253 0~90
3.3 317 0~183 0~315 0~60 0~96
5.0 490 0~10 0~487 0~2 0~98
7.0 667 - 117~665 - 0~98
11.0 1050 - 650~1030 - 0~98

Marc-100(水平) 標準レンズ

F R(mm) 測定可能曲率半径 最大測定可能口径
凹 凸 凹 凸
0.75 47.14 0~ 0~45 0~ 0~60
1.5 120 0~ 0~118 0~ 0~90
3.3 317 0~ 0~315 0~ 0~96
5.0 490 0~ 0~487 0~ 0~98
7.0 667 0~ 0~665 0~ 0~98
11.0 1050 0~ 0~1030 0~ 0~98