Wavelength Opto-Electronic (S) Pte.社は、コリメートされたガウスビームをコリメートされた出力ビームに変換する焦点ビームシェイパー・シリーズの開発に成功しました。
ターゲット面でフラットトップ形状が得られるように設計されているので、この出力ビームはフラットトップ形状ではありません(下図参照)。
このビームシェイパーは、ターゲット面の近傍でフラットトップ形状の集束スポットを取得するために、焦点レンズまたは回折限界性能のレンズを組み込んで使用しなければなりません。
フラットトップは、サブミクロンレベルで均一性に優れたスポットサイズを達成することができます。
レンズの焦点を合わせることで、特定のアプリケーションに適した焦点距離にすることができます。
以下の図は、フォーカル型ビームシェーパーを使った場合と使わなかった場合の焦点位置での顕微鏡写真です。フォーカル型ビームシェーパーは、シミュレートされたトップハットプロファイルで見るような、まっすぐな壁の焦点深度を作り出すことができます。一方、焦点ビームシェーパーなしの場合、ガウス焦点スポットのカーフ幅および実質的な熱影響部が見られます。
フォーカル型ビームシェーパーを使用した場合 フォーカル型ビームシェーパーを使用なかった場合
パーツ番号 | BSFL-355-6 | BSFL-532-10 | BSFL-1064-10 | BSFL-10.6-20 |
波長 | 355nm | 532nm | 1064nm | 10.6um |
ビームモード | TEM00 | |||
M2 | < 1.2 | |||
ビーム真円度 | 〜98%〜100% | |||
入力ビームウェスト径(1/e2) | 6.0 mm | 10.0 mm | 10.0 mm | 20.0 mm |
出力ビーム径 | 6.0 mm | 10.0 mm | 10.0 mm | 20.0 mm |
入力ビーム拡がり角(全角) | 〜0.1 mrad | 〜0.1 mrad | 〜0.2 mrad | 〜0.04 mrad |
出力ビーム拡がり角(全角) | 〜1.0 mrad | 〜1.1 mrad | 〜1.6 mrad | 〜4.7 mrad |